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真空泵在我們的日常生活和工作中是極為常見的。干式螺桿真空泵廣泛應用于電子、核能、化工、醫藥、食品工業等領域。在半導體工業中用于生產芯片、制造液晶顯示器、蝕刻、生產PLASMA的CVD制程。我們今天介紹下我們的德耐爾干式螺桿真空泵。
工作原理
螺桿真空泵利用一對螺桿在泵殼中作同步高速反向旋轉，進而產生吸氣和排氣作用。兩螺桿經精細動平衡校正，螺桿與螺桿之間都有一定的間隙，因此泵工作時，相互之間無摩擦，運轉平穩，噪聲低，工作腔無需潤滑油。
①主動轉子 ②從動轉子 ③吸氣腔 ④運送腔 ⑤排氣腔
性能優勢
·節能：功耗比同類產品降低20%以上；
·可靠：干式結構泵腔，機械變容壓縮，實現穩定的工藝真空；
·環保：零污水排放，無環保壓力，節省污水處理費用；
·增效：不污染溶劑，便于回收溶劑，增加效益；
·易維護：無需做特別的維護，基本無維修費用，省事、省心；
·冷卻：水量比同類產品節約90%以上，且對冷卻溫度要求不苛刻；
·防腐：可選用鎳磷、哈氏合金等涂層或選配鈦合金等整體材質。
等螺距真空泵
·國家專利(ZL 201921451548.2)；
·粗抽效率高，可以穩定運行于粗真空工況，極大擴展了工作壓力范圍；
·無內壓縮，泵溫高，適宜抽速易凝結、易結晶的氣體；
·轉子間隙大，固體粉塵與冷凝液不易在轉子間和泵腔內沉積。
·國家專利（ZL 201921451576.4）；
·氣體返流小，消耗功率低，更節能；
·排氣溫度以及工作溫度低，適宜抽除易燃易爆，易結焦的氣體；
·排氣反沖的氣體量少，從根本上降低了泵的運行溫度和噪音。
選配件示意圖
1.氣動蝶閥 2.螺桿真空泵 3.過濾器 4.氣液分離器 5.儲液筒 6.消音器 7.調壓表
·選配1 氮氣吹掃結構
·選配2 排氣消音結構
·選配3 溶劑沖洗結構
性能特點
1、潔凈真空
工作腔內無潤滑油，零污染；工藝氣體回收利用率高；尾氣處理方便，降低使用安全風險和運行成本；
2、冷卻性能
采用夾套冷卻，使用少量冷卻循環水，即可穩定的運行；
3、使用工況
宜抽取可凝性、腐蝕性、易燃易爆、易結晶、易凝固等氣體，適用于各種惡劣的工況；
4、穩定可靠
多級螺旋式轉子，取消中隔板結構，無中間級吸排氣過程，工作過程簡單、連續、效率高；
5、易維護
轉子無接觸、無磨損，結構簡單，零件少，維護方便，整機壽命長；
6、適應性強
進氣壓力在1Pa至大氣壓均能正常工作，可與羅茨泵、分子泵等組合，可作為前級泵使用，抽氣效率高。
應用行業
1、化工2、制藥 3、鋰電池 4、冶金系統5、鍍膜 6、新能源 7、光伏 8、汽車9、香料 10、航空航天 11、科研院所 12、半導體
德耐爾股份業務
動式空壓機、往復式壓縮機、工業真空泵、空氣源熱泵等七大工業氣體應用領域
秉持高端·節能·直銷的產品與服務定位
集研發、制造、直銷與服務于一體
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作者:德耐爾@德耐爾空壓機 空壓機修訂日期：2023-04-07
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