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在半導體制造工藝中，螺桿真空泵作為核心設備，其運行工況對生產設備的穩定性和可靠性起著重要作用。因此，選擇合適的螺桿真空泵作為核心設備，能在半導體生產中發揮關鍵作用。
適用范圍
螺桿真空泵的適用范圍較廣，可以應用于半導體生產、化學化工、食品、醫藥、電子制造、半導體封裝等行業。
半導體行業的螺桿真空泵應用最為廣泛，主要應用于硅片制造，清洗與測試，前處理以及真空封裝等領域。
在食品制造行業中，螺桿真空泵可以應用于肉類、水產品的加工和保存過程中的真空輸送、真空干燥和真空冷凍等。
在醫藥制造行業中，螺桿真空泵可以應用于制藥過程中的干燥、包裝以及其他特殊工藝過程的真空泵。
在電子制造行業中，螺桿真空泵還可以用于電子芯片清洗與測試過程中的真空泵以及半導體封裝和后處理等過程中的真空泵。
結構與工作原理
螺桿真空泵的結構，包括轉子、定子和螺桿轉子三部分，工作時由螺桿轉子在定子內旋轉形成真空室，將氣體吸入并壓縮。
定子部分由定子齒形、轉子組件等組成，其主要作用是將氣體吸入后，通過轉子組件的轉動將氣體壓縮為可吸入狀態，通過機械能或電氣信號輸出達到抽除真空的目的。
在半導體制造工藝中，由于工藝過程要求設備在極低真空條件下運行，所以需要對螺桿真空泵的運行工況進行嚴格控制。根據不同工藝要求和對真空度的要求，螺桿真空泵可以滿足半導體制造行業的不同工藝需求。
半導體制造行業對螺桿真空泵的運行工況有較高的要求，包括：極限壓力、溫度、流量、流速、振動、噪聲等。
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作者:德耐爾@德耐爾空壓機 空壓機修訂日期：2024-03-20
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