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干式螺桿真空泵介紹

時間:2023-04-07 11:32來源:yzjac.com 作者:德耐爾空壓機
真空泵在我們的日常生活和工作中是極為常見的。干式螺桿真空泵廣泛應用于電子、核能、化工、醫藥、食品工業等領域。在半導體工業中用于生產芯片、制造液晶顯示器、蝕刻、生產PLASMA的CVD制程。我們今天介紹下我們的德耐爾干式螺桿真空泵。

真空泵在我們的日常生活和工作中是極為常見的。干式螺桿真空泵廣泛應用于電子、核能、化工、醫藥、食品工業等領域。在半導體工業中用于生產芯片、制造液晶顯示器、蝕刻、生產PLASMA的CVD制程。我們今天介紹下我們的德耐爾干式螺桿真空泵。

工作原理

螺桿真空泵利用一對螺桿在泵殼中作同步高速反向旋轉,進而產生吸氣和排氣作用。兩螺桿經精細動平衡校正,螺桿與螺桿之間都有一定的間隙,因此泵工作時,相互之間無摩擦,運轉平穩,噪聲低,工作腔無需潤滑油。

①主動轉子        ②從動轉子       ③吸氣腔         ④運送腔         ⑤排氣腔

 

性能優勢

·節能:功耗比同類產品降低20%以上;

·可靠:干式結構泵腔,機械變容壓縮,實現穩定的工藝真空;

·環保:零污水排放,無環保壓力,節省污水處理費用;

·增效:不污染溶劑,便于回收溶劑,增加效益;

·易維護:無需做特別的維護,基本無維修費用,省事、省心;

·冷卻:水量比同類產品節約90%以上,且對冷卻溫度要求不苛刻;

·防腐:可選用鎳磷、哈氏合金等涂層或選配鈦合金等整體材質。

等螺距真空泵

·國家專利(ZL 201921451548.2);

·粗抽效率高,可以穩定運行于粗真空工況,極大擴展了工作壓力范圍;

·無內壓縮,泵溫高,適宜抽速易凝結、易結晶的氣體;

·轉子間隙大,固體粉塵與冷凝液不易在轉子間和泵腔內沉積。

變螺距真空泵

·國家專利(ZL 201921451576.4);

·氣體返流小,消耗功率低,更節能;

·排氣溫度以及工作溫度低,適宜抽除易燃易爆,易結焦的氣體;

·排氣反沖的氣體量少,從根本上降低了泵的運行溫度和噪音。

 

 

選配件示意圖

1.氣動蝶閥 2.螺桿真空泵 3.過濾器  4.氣液分離器  5.儲液筒 6.消音器 7.調壓表          

·選配1 氮氣吹掃結構                               

·選配2 排氣消音結構                                      

·選配3 溶劑沖洗結構

 

性能特點

1、潔凈真空

工作腔內無潤滑油,零污染;工藝氣體回收利用率高;尾氣處理方便,降低使用安全風險和運行成本;

2、冷卻性能

采用夾套冷卻,使用少量冷卻循環水,即可穩定的運行;

3、使用工況

宜抽取可凝性、腐蝕性、易燃易爆、易結晶、易凝固等氣體,適用于各種惡劣的工況;

4、穩定可靠

多級螺旋式轉子,取消中隔板結構,無中間級吸排氣過程,工作過程簡單、連續、效率高;

5、易維護

轉子無接觸、無磨損,結構簡單,零件少,維護方便,整機壽命長;

6、適應性強

進氣壓力在1Pa至大氣壓均能正常工作,可與羅茨泵、分子泵等組合,可作為前級泵使用,抽氣效率高。

 

應用行業

1、化工2、制藥 3、鋰電池 4、冶金系統5、鍍膜 6、新能源 7、光伏 8、汽車9、香料 10、航空航天 11、科研院所 12、半導體

 

德耐爾股份業務

產品涵蓋離心式壓縮機、噴油螺桿空壓機無油空壓機、

動式空壓機往復式壓縮機、工業真空泵、空氣源熱泵等七大工業氣體應用領域

秉持高端·節能·直銷的產品與服務定位

集研發、制造、直銷與服務于一體


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郵箱滴滴:maweiwei@denair.cn

地址:上海市金山區亭楓公路6767號

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作者:德耐爾@德耐爾空壓機  空壓機修訂日期:2023-04-07
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(本文由德耐爾空壓機編輯,轉載請注明出處:http://yzjac.com)
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